氮化硼可以通过多种制备技术合成，这里我们来介绍一下化学气相合成法，1979年Sokolowski成功利用脉冲等离子体技术在低温低压下制备成立方氮化硼(CBN)膜。所用设备简单，工艺易于实现，因此得到迅速发展。已出现多种气相沉积方法。
传统来讲主要是指热化学气相沉积。实验装置一般由耐热石英管和加热装置组成，基体既可以通过加热炉加热(热壁CVD)，也可以通过高频感应加热(冷壁CVD)。反应气体在高温基体表面发生分解，同时发生化学反应沉积成膜，反应气体有BCl3或B2H4与NH3的混合气体。
航天新材及技术提供服务商
首页 常见问题解答
氮化硼的制备—化学气相合成法
时间：2020-05-29 作者： 天元化工新材厂家 阅读人数：102
天元航材拥有辽宁省诚信示范企业,国家级守合同重信用企业等荣誉称号,天元航材有着50年的丰富历史底蕴,品质保障,今天给您带来《氮化硼的制备—化学气相合成法》的相关介绍。
上一篇：氮化硼化学数据全面解析
下一篇：添加剂对聚乙烯醇缩丁醛膜性能的影响
端羟基聚丁二烯
对苯醌二肟
亚铬酸铜
硼粉
10-羟基癸酸
防老剂H